AURION ANLAGENTECHNIK GMBH

AURION Anlagentechnik GmbH - plasmateknologi = plasmasystemer + HF-komponenter. AURION Anlagentechnik GmbH blev grundlagt af tre anpartshavere i slutningen af 1996. Idéen, der gik forud for denne firmaetablering, var at fremstille komponenter og komplette systemer til overfladebehandling, som er effektive, omkostningsbegrænsende og miljøvenlige. AURION udvikler og bygger komponenter til effektforsyning af plasmasystemer. Hertil hører impedanstilpasningsnetværk med autotuning-enhed samt filtre, afbrydere, faseomformere, effektdelere, ledninger og konnektorer. Der fokuseres på området højfrekvens-plasmaprocesser ved 13, 56 /. 27, 12 MHz. På basis af firmaets knowhow fra komponentfremstillingen tilbyder AURION desuden komplette systemer til plasmastøttet behandling af overflader, dvs. såvel til overfladerensning og -modificering som til coating- og ætsningsprocesser (PVD, PECVD, RIE, mikrobølge).